高頻放電，是指在高真空環境下，泵腔或真空室內殘存少量氣體分子，在高頻電場、高壓電場、電磁感應等外部能量作用下，氣體被擊穿、電離，形成持續或間歇性的輝光、火花、電弧類放電，并伴隨高頻電磁振蕩的現象。
2026/03/09
2026/02/25
2026/02/25
工作液相關問題是吸力不足的最常見誘因。真空泵依靠水環形成密閉腔實現抽氣，若工作液注入量不足，無法形成完整、厚度合適的水環，會導致腔室密封不嚴，氣體泄漏，真空度直接下降
2026/01/26
2026/01/26
2026/01/13
2025/12/31
